ASM IP 申请用于基座调平的方法和设备专利，能够检测基座上的流动模式
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金融界 2025 年 5 月 5 日消息，国家知识产权局信息显示，ASM IP 私人控股有限公司申请一项名为“用于基座调平的方法和设备”的专利，公开号 CN119913485A，申请日期为 2024 年 10 月。
专利摘要显示，本技术的各种实施例可以提供基座和感测系统，该感测系统联接到基座并配置成产生指示穿过基座和感测系统的空气流动的多个传感器输出信号。控制器连接到感测系统，并配置为基于传感器输出信号检测基座上的流动模式。
本文源自金融界